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エキシマレーザーとは、Excited Dimer Laserの略称です。特性として、強い紫外領域のレーザーが得られることが挙げられます。CO2レーザーなどの赤外線レーザーと異なり、熱を発生しないためにより鋭利で、微細な加工が可能になります。
チャンバー内にハロゲン(フッ素、塩化水素)、レア(Kr、Ar、Xe等)、バッファー(Ne、He等)の混合ガスを封入した状態で、放電を行います。すると電気の力で励起(Excited)されて、レア・ハロゲン二量体が生成(Dimer)します。しかしこの状態は不安定のため、本来のレアとハロゲンの形(基底状態)に速やかに移行します。その際、電気で得たエネルギーを紫外光に変換して放出します。これがエキシマレーザーと呼ばれるものです。放電1回につき1回しか発信されないため、連続して放電を繰り返すことによって、ある程度連続したレーザーを得られることができます。この時の封入ガスのレア・ハロゲンの組み合わせにより、得られるレーザー波長が変わります。基本的には波長が短いほどレーザーのエネルギーは強くなり、より微細な加工が可能になっていきます。
シリコンウェハー上に塗布されたレジスト膜にエキシマレーザーが作用し、回路を焼き付けます。基本的に短波長であるほど微細で、複雑な回路を形成できます。
液晶パネルのアニーリング工程に於いて、液晶パネル表面の分子組成の改変を行います。その為、多くの液晶メーカーで採用されています。
エキシマレーザーの特性を利用したもので、インクジェット式プリンターの穴開け工程、極小ラベリング等に採用されています。
光ファイバーの内面改質に使用するため、多くのファイバーメーカーで採用されています。
エキシマレーザー加工が微細であることから、逆に微細な粒子が生成されます。この粒子を均一に堆積させることによって薄膜を生成します。
眼球表面の角膜をエキシマレーザーによって研磨・矯正することにより、近視、乱視を治療します。
米国、韓国では既に一般的な治療方法として確立されています。
血管内の血栓除去への応用、歯科治療や、皮膚表面のシミ取りに利用されたりしています。まだ、多くは普及していませんが、エキシマレーザーの特性を活かした利用方法の研究が続けられています。
純度:99.99%~99.999%以上
通常在庫品(99.999%): 2000L入(16L型)、6370L入(49L型)
純度:99.9%~99.999%以上
通常在庫品(99.999%): 100L入(2.8L型)、500L入(16L型)、2000L入(16L型)
純度:99%~99.999%以上
通常在庫品(99.999%): 50L、100L、200L入(各2.8L型)
1.半導体グレード(純度:99.999%)
2.CPグレード(純度:99.9%)
1.半導体グレード(純度:99.997%)
2.リサーチグレード(純度:99.99%)
1.39~43成分
2.芳香族(Aromatic)
3.反応性ガス(Reactive)
4.調整用
大気環境汚染、土壌汚染、水質汚染、室内環境汚染、PRTR法等に伴う分析において、分析装置の校正に使用されます。溶媒希釈による校正も可能ですが、標準ガスならではの取り扱いが作業性効率を高めています。EPA(米国環境保護庁)指針が発端となり促進され、日本国内でも整備が進んでいます。
詳細については別途お問い合わせ下さい。